Инновационная деятельность

Перечень инновационных проектов:

  1. исследование свойств материалов нано- и микроэлектроники и структур на их основе;
  2. разработка и изготовление  автоматизированных комплексов для исследования материалов и структур нано- и микроэлектроники;
  3. разработка сенсоров нового поколения для экспресс-анализов и мониторинга газового состава сред;
  4. разработка пористых матриц для создания приборов наноэлектроники и хранения био- и наноматериалов;
  5. разработка технологии управляемого синтеза плёночных структур со стабильными выходными параметрами.

Исследование свойств материалов нано- и микроэлектроники и структур на их основе

Для реализации этого направления исследований создана лаборатория, которая включает современное оборудование, позволяющее:

  • исследовать морфологию поверхности плёнок с помощью комплекса сканирующей зондовой микроскопии, включающего атомно-силовой и сканирующий туннельный микроскопы;
  • осуществлять неразрушающий контроль полупроводниковых пластин и структур (концентрации междуузельного кислорода и углерода замещения в кремнии, толщины эпитаксиальных слоев в различных структурах, включая кремний на сапфире);
  • определять состав различных стекол (ФСС и БФСС); измерять параметры диэлектрических слоев;
  • исследовать качественный и количественный анализ твердых, жидких и газообразных образцов;
  • производить контроль качества продукции по ИК спектрам в химической, нефтехимической, фармацевтической, пищевой и парфюмерной промышленности;
  • осушествлять экологический контроль, криминалистическую и другие виды экспертиз на ИК фурье-спектрометрах ФСМ 1201 и ФСМ 1202;
  • в автоматизированном режиме исследовать параметры микро-, наносистем на уникальном оборудовании;
  • исследовать качественный и количественный состав материалов методом рентгеновского флуоресцентного анализа;
  • формировать плёночные структуры различными методами.

Авторы разработки:

  • Аверин И.А. - д.т.н.. профессор
  • Аношкин Ю.В. - к.т.н., доцент
  • Головяшкин А.Н. - к.т.н., доцент
  • Карманов А.А. - к.ф.-м.н, доцент
  • Пронин И.А. - к.т.н., доцент

Разработка и изготовление  автоматизированных комплексов для исследования материалов и структур нано- и микроэлектроники

Цель исследований: развитие материально-технической базы учебного процесса в системе ВПО и повышение качества подготовки специалистов за счет разработки и изготовления автоматизированных комплексов нового поколения, реализации образовательных программ и внедрение современных технологий обучения.

Комплексы не имеют аналогов, базируются на современных информационных технологиях, учитывают специфику микро-, наносистем, адаптированы для обучения бакалавров и магистров в области микро-, наноэлектроники и приборостроения.

К настоящему времени комплексы используются более чем в 120 учреждениях ВПО, научно-исследовательских институтах, включая РАН. Методическое обеспечение стендов соответствует перспективным направлениям обучения в индустрии нано- и микросистем.

Авторы разработки:

  • Печерская Р.М.- д.т.н., профессор
  • Медведев С.П. - к.ф.-м.н., доцент
  • Карпанин О.В. - старший преподаватель
  • Мурашкин С.В.- ведущий электроник
  • Вареник Ю.А. - к.т.н., доцент
  • Метальников А.М. - к.т.н., доцент

Разработка сенсоров нового поколения для экспресс-анализов и мониторинга газового состава сред

Цель исследований: создание газовых сенсоров нового поколения с высокими чувствительностью, селективностью и энергоэффективностью.

Сфера применения сенсоров:

  • теплоэнергетика;
  • нефтегазовая промышленность;
  • угледобывающая промышленность;
  • ЖКХ;
  • автомобильная промышленность;
  • медицина;
  • автоматизированные системы контроля метана и микроклимата.

Газовые сенсоры представляют диэлектрическую матрицу на основе оксида кремния, в которой располагаются полупроводниковые цепочки SnO2, являющиеся продуктом спинодального распада коллоидных растворов либо представляют структуру перколяционного стягивающего кластера.

Уникальность параметров газовых сенсоров достигается за счёт синергетически-кооперативных эффектов в наноматериалах, сформированных с помощью золь-гель-технологии.

 

Морфоструктура пленок, соответствующая спинодальному распаду и перколяционному стягивающему кластеру.  

Авторы разработки:

  • Аверин И.А.- д.т.н., профессор
  • Аношкин Ю.В.- к.т.н., доцент
  • Головяшкин А.Н.- к.т.н., доцент
  • Карманов А.А. -к.ф.-м.н., доцент
  • Карпанин О.В. - старший преподаватель
  • Метальников А.М. - к.т.н., доцент
  • Мурашкин С.В. - ведущий электроник
  • Печерская Р.М. - д.т.н., профессор
  • Пронин И.А. - к.т.н. , доцент
  • Рыжова Т.Н. - cтарший преподаватель

Разработка пористых матриц для создания приборов наноэлектроники и хранения био- и наноматериалов

Цель исследований: разработка технологии синтеза и изготовление матриц на основе анодированного оксида алюминия с управляемыми параметрами:

  • глубина и диаметр пор;
  • фрактальная размерность;
  • извилистость пор.

Область применения матриц на основе пористого оксида алюминия:

  • контейнеры для хранения и транспортировки нано- и биоматериалов;
  • матричная основа для приборов нано- и микроэлектроники;
  • сенсоры влажности.

Суть исследований: разработка физико-химических закономерностей формирования пористого оксида алюминия с заданными размерами пор Разработаны основы технологии синтеза сенсоров влажности, отвечающих самым современным требованиям: низкое энергопотребление, высокая стабильность, чувствительность на уровне зарубежных аналогов. Данные характеристики обусловлены наноразмерными эффектами в упорядоченных кристаллических материалах.

Матрицы с диаметром пор от 50 до 150 нм

Авторы разработки:

  • Аверин И.А.- д.т.н.. профессор
  • Губич И.А. - аспирант
  • Пронин И.А. – к.т.н., доцент
  • Дарвин В.Ю. - аспирант

Разработка технологии управляемого синтеза плёночных структур со стабильными выходными параметрами

Цель исследований:

создание многокомпонентных пленочных материалов с управляемыми свойствами и высокостабильных резистивных структур на их основе.

Область применения резистивных структур:

  • чувствительные элементы датчиков;
  • пассивные элементы микроэлектроники.

Суть исследований: разработка физико-химических закономерностей на низкоразмерном уровне и формирование многокомпонентных материалов и структур с заданными выходными параметрами.

 

Морфоструктура многокомпонентных пленок до и после отжига

Разработаны методики управления морфоструктурой и выходными параметрами резистивных структур на основе многокомпонентных хромоникелевых сплавов за счет условий конденсации, внешних факторов, включая отжиг, и синтезированы тонкопленочные структуры с характеристиками близкими к мировым аналогам.

Авторы разработки:

  • Аверин И.А.- д.т.н., профессор
  • Аношкин Ю.В. – к.т.н., доцент
  • Головяшкин А.Н. – к.т.н., доцент
  • Карманов А.А. - к.ф.-м.н , доцент
  • Пронин И.А. - к.т.н., доцент

 По результатам НИР получены патенты РФ на изобретения и свидетельства о регистрации

   

 

 
   
      За разработку  «Способ получения нанолитографических рисунков с кристаллической структурой со всерхразвитой поверхностью» получен  дипломом Федеральной службы по интеллектуальной собственности в номинации «100 лучших изобретений России-2018».
 
 

 

 

Дата создания: 21.05.2013 11:57
Дата обновления: 23.10.2019 15:43